微波法生长高质量金刚石膜制品

     微波法因其具有高的等离子体活性和密度，无电极污染等综合优势而成为当今国内外低压气相沉积高质量金刚石膜的主要方法之一。
    武汉工业大学发挥其学科优势，研制了我国第一台不锈钢谐振腔型微波等离子体化学气相沉积装置，该装置运行稳定、可靠、可连续长时间工作。在该装置上沉积了直径在50-76.2mm之间的透明金刚石膜。制备的金刚石膜涂层氮化硅刀具经试用表明，用金刚石涂层后比涂层前的刀具加工硅铝合金的光洁度可提高一级，加工铜合金的使用寿命可提高8-10倍以上。
    1999年元月通过了武汉市科委组织的专家鉴定，成果达到了90年代国际先进水平。

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